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等離子去膠機(jī)通過等離子體技術(shù)實(shí)現(xiàn)材料表面光刻膠或有機(jī)污染物的去除，其核心功能依賴于多個(gè)精密部件的協(xié)同工作。真空腔室是其核心區(qū)域，為等離子體生成與材料處理提供密閉環(huán)境。腔體通常采用耐腐蝕材料(如不銹鋼或石英)制造，內(nèi)部配備承片臺(tái)用于固定樣品。處理過程中，腔室壓力需降至1-100帕斯卡范圍，以降低氣體分子密度，促進(jìn)電離反應(yīng)。部分機(jī)型采用鉸鏈側(cè)開門結(jié)構(gòu)，配備觀察窗，便于操作監(jiān)控與維護(hù)。等離子去膠機(jī)的氣體導(dǎo)入系統(tǒng)負(fù)責(zé)向真空腔室輸送工藝氣體(如氧氣、氬氣或混合氣體)，其關(guān)鍵功能包括：氣...
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Pluto30是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶良好的靈活性。復(fù)旦大學(xué)高分子系老師希望用該設(shè)備進(jìn)行等離子體化學(xué)反應(yīng)的實(shí)驗(yàn)，即利用設(shè)備產(chǎn)生的等離子體在真空泵和氣體閥門關(guān)閉的情況下與真空腔內(nèi)的物質(zhì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，然后獲取化學(xué)反...
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清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶的技術(shù)要求，提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)，以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。上海沛沅儀器生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)是一款桌面式等離子設(shè)備，具有性能穩(wěn)定、性價(jià)比高、操作簡(jiǎn)便、使用成本極低、易于維護(hù)的特點(diǎn)。對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性。有效地清除樣品表面的...
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中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)（UniversityofScienceａndTechnologyofChina），位于安徽省合肥市，是中國(guó)科學(xué)院直屬的一所以前沿科學(xué)和高新技術(shù)為主，兼有醫(yī)學(xué)、特色管理和人文學(xué)科的綜合性全國(guó)重點(diǎn)大學(xué)，中央直管副部級(jí)建制，由中科院、教育部和安徽省三方重點(diǎn)共建；建設(shè)高校A類、985工程、211工程，入選珠峰計(jì)劃、強(qiáng)基計(jì)劃、111計(jì)劃、2011計(jì)劃、中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程、國(guó)家建設(shè)高水平大學(xué)公派研究生項(xiàng)目、全國(guó)深化創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育改革示范高校、中國(guó)政府獎(jiǎng)學(xué)金來華留學(xué)生接...
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