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清華大學調(diào)研了眾多等離子表面處理設備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據(jù)客戶的技術(shù)要求，提供了可以滿足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機，以下為該設備的安裝調(diào)試圖。

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2020年12月，上海交通大學采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設備。該設備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復性。

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電子科技大學已采購多臺等離子設備，包括PLUTO-T等離子清洗機，PLUTO-MD等離子去膠機等，用戶反饋良好。主要涉及的應用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導體樣品表面有機物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

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